摘要
扫描干涉仪作为一种非接触式的光学测量仪器，在精密测量领域发挥着至关重要的作用。
其工作原理基于光的干涉现象，通过分析干涉条纹的变化来获取被测物体表面的形貌、厚度、折射率等信息。
本文首先介绍了扫描干涉仪的基本概念和工作原理，并详细阐述了影响其测量精度的关键设计参数，如光源波长、扫描范围、分辨率和精度等。
其次，本文综述了不同类型扫描干涉仪的特点及其应用领域，包括迈克尔逊干涉仪、法布里-珀罗干涉仪和萨格纳克干涉仪等。
然后，本文重点分析了扫描干涉仪在表面形貌测量、薄膜厚度测量、折射率测量和光谱分析等领域的应用，并总结了各种应用的特点和优势。
最后，本文展望了扫描干涉仪的未来发展趋势，包括高精度化、高速化、集成化和智能化等方面，并对其应用前景进行了展望。
关键词：扫描干涉仪；设计参数；应用特征；精密测量；光学测量
随着科学技术的不断发展，精密测量技术在现代工业、生物医学、材料科学等领域发挥着越来越重要的作用。
扫描干涉仪作为一种非接触式的光学测量仪器，具有精度高、分辨率高、测量速度快、对测量环境要求低等优点，因此在微纳尺度测量领域得到了广泛应用[1]。
扫描干涉仪的工作原理基于光的干涉现象，通过分析干涉条纹的变化来获取被测物体表面的形貌、厚度、折射率等信息[2]。
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